薄膜測(cè)量系統(tǒng)用于測(cè)量薄膜反射率及膜層厚度

薄膜測(cè)量系統(tǒng)是專(zhuān)門(mén)針對(duì)半導(dǎo)體、材料、生物醫(yī)學(xué)薄膜的實(shí)驗(yàn)室分析及在線監(jiān)測(cè)開(kāi)發(fā)的，用于測(cè)量薄膜反射率及膜層厚度的綜合測(cè)量系統(tǒng)。    該系統(tǒng)基于白光反射及干涉的原理來(lái)確定光學(xué)薄膜的厚度?？梢酝ㄟ^(guò)對(duì)白光干涉圖樣進(jìn)行數(shù)學(xué)運(yùn)算來(lái)計(jì)算出薄膜厚度。對(duì)于單層膜來(lái)說(shuō)，如果已知薄膜的n和k值就可以計(jì)算出它的物理厚度。       AvaSoft-Thinfilm軟件內(nèi)有一個(gè)包含大部分常用材料和膜層的n值和k值的數(shù)據(jù)庫(kù)。TFProbe多層膜測(cè)量軟件可以測(cè)量多達(dá)5層膜的厚度和光學(xué)常數(shù)（n、k值），實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)或在線膜厚和折射率監(jiān)控。

參數(shù)指標(biāo)：

• 光譜范圍 200~1100nm 測(cè)量速度 2 ms minimum
• 膜厚范圍 10nm~200μm基底厚度up to 50mm thick
• 分辨率 1nm 測(cè)量精度 better than 0.25%

典型應(yīng)用領(lǐng)域：

• Semiconductor fabrication (PR, Oxide, Nitride..) 半導(dǎo)體制造
• Liquid crystal display (ITO, PR, Cell gap…..) 液晶顯示器
• Forensics, Biological films and materials 醫(yī)學(xué)、生物薄膜或材料
• Inks, Mineralogy, Pigments, Toners 印刷油墨，礦物學(xué)，顏料，碳粉
• Pharmaceuticals, Medial Devices 制藥
• Optical coatings, TiO2, SiO2, Ta2O5….. 光學(xué)薄膜
• Semiconductor compounds 半導(dǎo)體化合物
• Functional films in MEMS/MOEMS 功能薄膜材料
• Amorphous, nano and crystalline Si 非晶硅

AvaSoft-Thinfilm應(yīng)用系統(tǒng)可以搭配多種應(yīng)用系統(tǒng)附件，例如光纖多路復(fù)用器、顯微鏡、過(guò)真空裝置等附件，實(shí)現(xiàn)多點(diǎn)位同時(shí)測(cè)量、微區(qū)測(cè)量、過(guò)程監(jiān)控等復(fù)雜領(lǐng)域的應(yīng)用。 例如：AvaSoft-Thinfilm應(yīng)用系統(tǒng)能夠?qū)崟r(shí)監(jiān)控膜層厚度，并且可以與其他AvaSoft應(yīng)用軟件如XLS輸出到Excel軟件和過(guò)程監(jiān)控軟件一起使用。

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